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本实用新型公开了一种在石英表面喷涂特氟龙的圆片架,它包括前面板、后面板、支撑板
和固定板,前、后面板与两侧支撑板之间烧焊连接,两侧支撑板的底部中间横向连接有连接杆,连接
杆、前面板、后面板的上端面均匀设置有多个供放置圆片的卡槽,两侧支撑板的上端与横向设置的固
定板连接,固定板用于固定在清洗定位槽两侧,圆片架的材质为石英材质,在石英材质的圆片架的表
面喷涂有特氟龙涂层。在石英材质的圆片架上喷涂特氟龙,有以下效果:圆片架使用寿命更长,提高
了设备利用效率;由于不被腐蚀,使用过程中圆片放置无偏差,设备运行的故障率降低。
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